• 計測チャンバー（太陽光シミュレーター用）
• キャリヤボックス
• 基板洗浄ホルダー

Ｅ−８０シリーズは、Ｅ−１００、Ｅ−２００シリーズの基本コンセプトを継承しておりますので、将来にわたり高度な研究目的に御使用いただけます

Ｅ−８０標準外観写真（左奥はオプションのKOREA KIYON社製グローブボックス）
Ｅ−１００との主な相違点

• 基板サイズ：６０ミリ角
• 蒸発源：３源

Ｅ−８０とKOREA KIYON社製のグローブボックスとの接続例
アンテチャンバー室を簡易ロードロック室として使用しています

お客様が既に弊社製Ｅ−１００をお持ちであれば上の写真のような接続が可能です
（蒸着室の配置は左から下記のようになります）
Ｅ−８０　＋　Ｅ−１００　＋　Ｅ−８０　(＋　オプション：グローブボックス）

エイエルエステクノロジーではKIYON社製のグローブボックスのさらなる性能改善、品質向上を目指して技術交流会を定期的に行っています。技術交流会では、毎回活発な議論が行われています。
技術交流会の後はお互いの親睦を図るため懇親会も開いております。

技術交流会の様子（韓国ソウルKOREA KIYON社にて）

この度、西日本地区での、KOREA KIYON社製グローブボックスの販売強化及びアフターサービスの充実を目的にONO.TEC株式会社と2011年4月1日に販売契約の締結を致しました。
これまでも、弊社では日本全国に渡り、KOREA KIYON社製グローブボックスの販売（含む弊社製品に組み込んだ形での販売）を行ってまいりましたが、ONO.TEC株式会社との今回の販売契約締結により、西日本でのグローブボックス販売、及びアフターサービスの充実を図ってまいります。
（ONO.TEC株式会社の大野氏はKOREA KIYON社にかつて勤務しており、同社製グローブボックスに熟知しております）
ONO.TEC株式会社が担当する地域は、金沢、富山、名古屋、三重、岐阜を含む西日本です。

韓国語の表彰状の意訳です。
「第47回貿易の日に、KOREA KIYON社は100万ドルの輸出に貢献したため、首相より貿易促進賞として表彰する」
KIYON社の輸出先の大部分を日本が占めており、弊社はKIYON社製グローブボックスの日本国内唯一の販売総代理店です。

表彰状とKIYON社技術営業部部長Mr.Kim氏

今後、さらにKOREA KIYON社との技術交流を深め、お客様にご満足頂けるグローブボックスを提供してまいります。
KOREA KIYON社製グローブボックスのご案内はこちらから。

1. 目的

成膜処理等が終了した基板をグローブボックス内環境にて「計測チャンバー」にセットしN₂ガス雰囲気中にて蓋をします。グローブボックス機構のミニアンテチャンバーを経由して外部に取り出します。太陽電池応用の場合には疑似太陽光照射計測などを基板をN₂等の環境化に保持したままで測定可能になります。


2. 特徴


• 小型サイズ
グローブボックス機構のミニアンテチャンバーを経由して外部に取り出す為に最大外径φ94ミリｘ全長150ミリ（スタンドを含みます）とコンパクトに設計しています。
（対応基板サイズ　25ミリ角程度まで）


• ご利用状況に応じた工夫

グローブボックス内にて工具を使わないで基板取り付けや蓋カバーの固定が容易になるように工夫をしています。


• 真空排気用の配管接続も可能（オプション）

グローブボックス内での真空排気の場合に必要になります配管部品、バルブ真空配管フィードスルーなども準備をしております。


• 基板サイズの変更やピン数の変更など

詳しくは弊社営業部門までお問い合わせください。
（なお、カタログもご用意してございます）


• 外観写真





• 基板取り付け部分





• チャンバー下部

• グローブボックス内専用プローバー

グローブボックス内にて厚いグローブを使用しても操作がしやすいようにつまみを回しやすくしております。また観察ＣＣＤカメラを備えております。



• 真空プローバー デスクトップタイプ




• 真空プローバー 床置きタイプ



真空プローバーは加熱機構、冷却機構ユニットの搭載が可能です。
また上に掲載の写真はクリックしていただきますと拡大します。