ALS Technology Co., Ltd.
株式会社ALSテクノロジー


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弊社製品ご案内

有機EL研究用蒸着装置 E-100シリーズ


本装置は千歳科学技術大学の安達教授殿の御指導のもとに弊社の今までに蓄積された研究装置の
設計コンセプトを融合して完成させた有機EL研究用に適した蒸着装置です。

  1. 標準蒸着源として最大8源まで備え、標準2源(最大3源)までの同時蒸着が可能です。
  2. 蒸発源はチャンバー底面大型フランジに取り付ける構造としており、装置をお納めした後でも
    配置の変更や、Kセル源の取り付けなどに容易に変更可能な構造です。
    ご研究内容の変化に柔軟に対応が可能です。
  3. チャンバーは研究に適した多くのフランジを設けております。
    チャンバー左右や背面にはICF規格やJIS規格のサービスフランジを備えておりますので、
    グローブボックスやロードロック機構などと接続が可能な他に、多くの市販真空部品が
    取り付けられます。
  4. 排気操作は自動ですので誤操作がなく、どなたにも安全にご使用いただけます。
  5. 使いやすい前開きチャンバーですので蒸発源の交換が容易なほかに、防着シールドの
    メンテナンス等が容易に可能です。
  6. 他の機器との接続等を考慮して、チャンバーの高さは専用のアジャスターボルトにより
    大きく変更可能な構造としております。
  7. 主排気系には信頼性の高いファイファー(バルザース)製ターボ分子ポンプを備えていますので
    クリーンな真空が得られます。


主要仕様

仕様項目 仕   様
チャンバーサイズ ステンレス製角型(正面扉はアルミ製)
幅360×高さ400×奥行き395
排気系 主排気ポンプ
  ターボ分子ポンプ ファイファー(バルザース)製 210L/SEC
  液体窒素トラップ付
荒引きポンプ
  アルカテル製 直結型ポンプ
内部機構 基盤ホルダー(モータードライブ 回転機構つき)
基盤サイズ 最大 約φ100
防着シールド付
蒸着源 抵抗加熱蒸着源対応(ポートは含みません。)
蒸発源の数  8源
同時蒸着    2源まで(3源まで可能です。電源数に依存します。)
蒸着モニター インフィコン製 XTM/2  2式搭載
(標準架台に3式まで搭載が可能)
操作 排気操作  自動操作
蒸着操作  手動
入力電源・
 他の用力
AC200V 30A 1系統
圧縮空気、冷却水、Nガス、(液体窒素)


備考:上記仕様は標準的仕様について記載したものです。詳細仕様はお見積もり仕様書にてご確認ください。



蒸着室内部構造


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