ALS Technology Co., Ltd.
株式会社ALSテクノロジー


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弊社製品ご案内

有機EL研究用蒸着装置 E-50シリーズ


本装置は弊社の今までに蓄積された研究装置の設計コンセプトを複合して完成させた真空対応の
グローブボックス付の研究用蒸着装置で以下に示すような多くの特徴を備えています。
  1. 標準装置構成はターボ分子ポンプを主排気ポンプとした蒸着室に真空対応のグローブボックスを結合させた蒸着装置です。
    グローブボックス内にて前処理等をされた基板を大気にさらすことなく蒸着室に移動できます。

  2. 蒸発源はチャンバー底面フランジに取り付ける構造としており、装置をお納めした後でも、セル源の取り付けなどに容易に変更可能な構造ですので、ご研究内容の変化に柔軟に対応が可能です。

  3. チャンバーは研究に適した多くのフランジを設けております。
    チャンバー周囲にはICF規格サービスフランジを備えておりますので、多くの市販真空部品が取り付けられます。

  4. 主排気系には信頼性の高いファイファー(バルザース)製ターボ分子ポンプを備えていますのでクリーンな真空が得られます


主要仕様

仕様項目 仕   様
チャンバーサイズ ステンレス製円筒型(上部ハッチ式の蓋はアルミ製)
直径 約200×高さ250
 蒸着源と基板の距離は約200mm
 
 ビューイングポート1式
 グローブボックス接続用ポート2式(ゲートバルブ1式付属)
 サービスポート ICFΦ70規格(2個)付属
  
排気系 主排気ポンプ
  ターボ分子ポンプ ファイファー製 60L/SEC
  荒引きポンプ 1式
到達真空度
  10-6torr台(無負荷の場合)
内部機構 基盤ホルダー(基板搬送軸に固定して蒸着)
  基板の受け渡し機構は付属しません。(受け渡し機構はオプション設定)
基板サイズ ホルダーサイズ 最大50mm角
シャッター  基板ホルダー側 1基
  蒸着源 抵抗加熱蒸着源対応(ポートはお客様にてご準備ください。)
蒸発源の数  2源
同時蒸着    ありません。(同時蒸着機構はオプション設定)
蒸着電源   130A×6V 1式標準搭載
グローブボックス 真空対応(精製機構はありませんので高純度ガスを導入してください。)
 グローブボックス室の寸法
   幅650×高さ600×奥行550
 予備室付(真空対応)
 真空ポンプ ロータリーポンプ
   本体用と兼用
 練成圧力計(ブルドン管型) 2個搭載
  蒸着モニター インフィコン製 XTM/2  1式搭載
搬送系 磁気結合型の直線導入機
グローブボックスとの間はゲートバルブ仕切り弁付
操作 排気操作  手動
蒸着操作  手動
ファイファー製の真空計を使用
入力電源・
 他の用力
AC100V 15A 1系統
ガス(パージ用)

<備考>
上記仕様は標準的仕様について記載したものです。
詳細仕様はお見積もり仕様書にてご確認ください。チャンバー寸法他、各ユニットについては予告なく仕様変更する場合があります。
                                  本機器のカタログはこちらから⇒e-50 72.0KB
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