ALS Technology Co., Ltd.
株式会社ALSテクノロジー


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弊社製品ご案内


有機EL研究用蒸着装置
E-200シリーズ

本シリーズは3シリーズとも必要不可欠な機能を備え、かつ無駄な構造を省いた機能重視の設計を
行うことにより、高いパフォーマンスの確保ご購入後の研究内容の発展に対応できる将来性の確保以上の
ALSテクノロジーの研究装置の基本コンセプトを守っております。

排気はクライオポンプ(E-200シリーズ)、ターボポンプ(E-50、E-100シリーズ)を使用しドライな
質のよい真空を確保しています。

有機EL研究用蒸着装置2室仕様 E-200シリーズ
  • 主要仕様(標準)

    クライオ排気
    自動排気
    有機8源、金属2源の
    同時蒸着可能


  • オプション

    グローブボックス接続
    マスク移動機構
    Kセルポート追加


有機EL研究用蒸着装置 E-100シリーズ
  • 詳細についてはこちら をご覧ください


有機EL研究用蒸着装置エコノミー仕様 E-50シリーズ
  • 詳細についてはこちら をご覧ください

備考:上記仕様は標準的仕様について記載したものです。詳細仕様はお見積もり仕様書にてご確認ください。

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