ALS Technology Co., Ltd.
株式会社ALSテクノロジー


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当社製品のご案内


 研究用真空機器の製造販売


 真空関連のお役立ちツールの製造販売


 真空部品の販売



 輸入代理店業務


用途別分類 製品名 製品概要 写真(クリックで拡大) カタログ
有機デバイス研究用蒸着装置
         1室蒸着装置 E-100 有機デバイスの研究に適した構造
  1. 蒸発源 8源同時2源蒸着
  2. グローブボックス接続ポート
    他の真空装置と接続可能
  3. 使いやすい自動排気
  4. コンパクト設計
  5. ターボ排気
E-100 コチラ
E-100J E-100の特徴を受け継ぎ、自動排気部分のみを削除したエコノミーモデル E-100J コチラ
2室/3室の蒸着装置 E-200シリーズ E-200シリーズは多くの組み合わせが可能です
搬送系は停止位置精度の高い自社製のラック&ピニオン搬送系を使用しています
基板とマスクを独立して交換が可能
クライオ排気系
自動排気(手動排気装置もあります)
多くのバリエーションがあります
E-200 コチラ
2室/3室の蒸着装置
オプションユニット
レボルバー電極 4〜8源の電極がステップ回転することにより同一ポジションから蒸着が可能になります Revolver
ロードロック機構の追加 E-200シリーズに基板やマスクをストックし高真空下にて搬送が可能です カタログ準備中
アライメント機能付蒸着装置 (プロトタイプ) 10ミクロン以下のマスク合わせを可能とするCCDカメラと画像認識機構を備えた蒸着装置です Alignment
コンビナトリアル蒸着装置 (プロトタイプ) シャドウマスクを移動させることにより同一真空下にて条件を変えて多くのサンプル蒸着が可能
クラスターツール(ロボット室)付のマルチチャンバー装置 (プロトタイプ) 中央の基板搬送ロボット室を中心とし成膜室や基板マスクストック室、酸素プラズマ処理室を備えたR&D用としては最高級装置です Cluster
有機材料昇華精製装置
P-100
(石英管径φ33、φ45仕様)
完全ドライの排気系
緩やかな傾斜を持つ特殊設計のヒーター機構
温度傾斜のモニターが常時可能
精製状態の観察が可能
P-100 コチラ
P-150
(石英管径φ65仕様)
カタログ準備中
P-200
(石英管径φ100仕様)
P-200 カタログ準備中
特注昇華装置 カタログ準備中
低ダメージスパッタリング装置
コニカルカソード搭載スパッタ装置 3カソード装置 本装置は大きめの真空室に3基のコニカルカソードを配置し、基板とカソードの位置関係を変更可能にした装置
有機デバイス上に低ダメージにて成膜が可能
Low Damage Spatter
高真空排気装置 UH
特注チャンバー
真空キャリアケース
研究用のお役立ちツール
キャリアボックス φ100ミリ(角100)対応 キャリアボックスとはグローブボックス内にて基板を同ボックス内に入れ、グローブボックスから取り出し移動を可能としたものです
真空排気にも対応可能です
お客様のご希望サイズに合わせて製作可能です
CareerBox
φ125ミリ(角125)対応
光学測定真空チャンバー 真空中にデバイスを入れて光の出し入れが可能
お客様のご希望仕様に合わせて製作可能です
Chamber
基盤洗浄容器 基板を複数収納し、超音波洗浄後にそのまま乾燥工程に移動可能な洗浄容器です



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