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INFOVION社製スパッタ装置


スパッタリング装置スパッタシステムクラスタースパッタ装置
小型3源スパッタリング装置(3インチPMC)スパッタシステム/Φ8インチカソードx3
・フルオート仕様
クラスタースパッタ装置
電子ビーム蒸着装置コンビナトリナルスパッタ装置イオンビームスパッタ装置
電子ビーム蒸着装置コンビナトリナルスパッタ装置イオンビームスパッタ装置





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