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最終更新日 2016年3月3日


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会社概要 | 当社製品 - 真空部品 - LEIPS装置 - INFOVION社製蒸着装置 - KOREA KIYON製グローブボックス - カタログ - メディア掲載 - 生産及び輸送体制 | 展示会 | 御問合せ | 御来社は | Legal Notices


star エイエルエステクノロジーは最先端の研究に携わる皆様にお役に立てるようがんばります!

弊社は研究用の真空装置を製造販売する会社です。
これまで培ってきた技術と経験を基に、高度な真空機器設計技術でお客様のアイデアをカタチとして実現いたします。

Org EL

山形大学有機エレクトロニクスイノベーションセンター様にお納めした有機EL研究用成膜装置(写真掲載について御承諾頂きました)
弊社有機EL研究用装置は多くの大学様・研究機関様で活躍しております






What's New spacer spacer
Button2015年9月 INFOVION社製蒸着装置の輸入販売を開始しました

当社では従来の複合スパッタ装置に加えてスパッタ専用装置の事業を強化することとし、韓国ソウル市に拠点をもつインフォビオン社(INFOVION)と連携し同社の優れたスパッタ装置を日本の市場に販売展開することといたしました。

インフォビオン社は韓国真空機器メーカーとして薄膜表面改質用のイオンソースの自社開発を行うなどイオンや電子を扱う固有技術に高度な技術を備えています製品群も大学研究向け小型のスパッタ装置、イオンビームスパッタをなどの他、中規模、大規模インライン装置、クラスター装置まで幅広く手掛けております。


INFOVION社製蒸着装置に関する詳細はこちらを御覧ください
Button2015年6月 新製品LEIPS装置のご案内
『LEIPS』は、有機半導体を損傷させることなく高精度なLUMO準位測定ができる低エネルギー逆光電子分光装置です
従来の測定方法「IPES」をベースに、これまで抱えていた課題を解決しています

LEIPS装置

【特長】
■高感度
■高分解能0.5eV以下
■有機半導体の開発や性能UPに貢献
本装置は京都大学化学研究所の吉田弘幸博士(現千葉大学教授)の御指導のもと開発いたしました
(京都大学(株式会社関西TLO)との間で知的財産に対しての「実施許諾契約」を締結済)

LEIPS装置に関する詳細はこちらを御覧ください。カタログもこちらにご用意しております。
Button2015年6月 「たまNAVI」NO.57巻頭ページに弊社が取り上げられました
たましん法人総合サービスBOB様が発行している「たまNAVI」NO.57巻頭ページに弊社が取り上げられました
オンラインで読むことができますのでぜひ御覧ください
デジタル版・たまNAVI(たましん法人総合サービスBOB様のWEBページです)
Button 小型蒸着装置・グローブボックスのご案内
ALSテクノロジーでは、本ウェブページ最上段にあるような大型研究装置から、より小型の研究装置・グローブボックス・お役立ちツールまでお客様のニーズに合う製品をご用意しております
ぜひ下記PDFカタログも御覧ください。
Button2014年6月 新刊「2015 有機ELテクノロジー大全」に弊社有機EL関連装置が掲載されております。ぜひ御覧ください。
有機EL技術を集大成した「2015 有機ELテクノロジー大全」が6月5日に発刊されます。現在申込受付中です。
同誌の中で、弊社有機EL関連装置が3章にわたり掲載されておりますのでぜひご覧ください。
◆第4編 有機EL用製造装置
第3章 エイエルエステクノロジーの有機EL用昇華精製装置
第4章 エイエルエステクノロジーの有機EL蒸着装置
第19章 KOREA KIYON/エイエルエステクノロジーの有機EL用グローブボックス/ガス循環精製装置
【発 行】電子ジャーナル
【発行日】2014年6月5日
【頁 数】222頁(A4変形)
【体 裁】CD-ROM
【定 価】49,800円(送料・税込み)

詳細・ご購入はこちらから(株式会社電子ジャーナルのサイトです)
関西営業所閉鎖のお知らせ
関西地区の御客様を中心にご愛顧賜りました「関西営業所」は2014年3月末をもって、閉鎖を致しました。
今後の製品のお問い合わせやアフターサービス関係につきましては下記まで、ご連絡を戴けます様お願い申し上げます。

新体制にて万全の対応をさせて戴きます。


営業窓口:
  • 営業部 カスタマーサービス課
  • 電話 042-713-3018
  • FAX 042-713-3019
  • 担当 田村眞人 090-3044-9053
  • tamura@als-tech.jp
グローブボックス関連のサービス:
  • 担当 橋本 栄 090-5765-6669
緊急時は直接ご連絡をお願い致します。

Button2013年12月 有機ELの生みの親Ching W. Tang教授が来社されました

TVディスプレイや面発光照明などで将来が大きく期待されている有機ELの基礎を築き、世界的にも有名なChing W. Tang 教授が2013年暮れにALS本社・工場に来社されました。ALSが国内の多くの有力研究機関に納入している有機EL用蒸着装置を詳細に見学し、強い興味を示されました。

技術プレゼンテーション

技術プレゼンテーション


装置の見学

装置の見学


歓談風景

弊社社員との歓談


プロフィール Ching W. Tang(ケ 青雲)様
1947年 香港生
1975年 イーストマンコダック社
1987年 有機EL発光に関する論文発表
・真空蒸着法による超薄膜の形成
・発光層二層化の多層構造

有機EL大飛躍のきっかけとなる
2005年 フンボルト賞受賞
2006年 ロチェスター大学教授
2011年 ウルフ賞受賞(化学部門)
2012年 ノーベル賞候補に
2013年 香港科学技術大学(HKUST)教授
ロチェスター大教授(兼任)


封止装置(試作機)

弊社では、九州大学の八尋先生(九州大学未来化学創造センター客員准教授)の御指導の元で小型封止装置を開発し納品をいたしました。
研究室にて小型基板を大量に封着する必要がある場合に本装置は適しております。

真空蒸着により得られた有機薄膜は大気に触れる事を防止する為に封止処理をする必要があります。蒸着装置から成膜を終えた基板をグローブボックスに取り出します。ALS製蒸着装置をご使用の場合には成膜完了後の基板を蒸着装置用基板トレーに乗せたまま本装置の内部に挿入します。封止キャップガラスは専用トレーに並べてディスペンサー等により接着材を外周に塗布し本装置の内部まで導入します。
基板と封止キャップガラスが内部に導入されましたら、グローブボックスと本装置との仕切りのゲートバルブを閉めて10-3Pa程度まで真空に排気します。
排気完了後に高真空のままもしくは封止ガスを導入した後にエアー駆動機構により基板とマスクを均一に押しつけた後に上面からUV照射硬化処理をしてから取り出します。

封止装置

封止装置外観写真
KOREA KIYON社グローブボックスの背面に接続された封止装置。他社製のグローブボックスをご使用の場合は本装置が接続可能なフランジがあれば取り付けることが可能です。


封止装置の外観

本装置の外観、手前右側の丸いフランジはグローブボックス接続フランジ


封着された基板

封着され取り出された基板
(本基板は25ミリ角程度、基板御提供、九州大学安達研究室)


2012年12月 A-COE 2012国際会議

2012年末(12月19日から21日まで)、山形大学において有機関係の国際学会「A-COE 2012」が開催されました。A-COEはアジア地域(日本、韓国、台湾など)の有機エレクトロニクス関係の国際会議で、山形大の城戸先生、九大の安達先生の呼びかけによりスタートしたものです。
弊社は、会場の入り口付近に場所をお借りして「スパッタチャンバー付きマルチチャンバー蒸着装置」などの最新装置をパネルにてご紹介させていただきました。

展示パネル前にて

弊社展示パネルの前にて山形大学 城戸先生、長岡高専 皆川先生)
日頃お忙しい城戸先生もこの日ばかりはリラックスされていました。

参考)長岡高専 皆川先生のホームページ http://www.nagaoka-ct.ac.jp/ec/labo/orga/als.html



ラボツアーの様子 with Mr. Tang

会議の合間に城戸先生にご案内されてラボツアーへ。
写真は山形大の硯里准教授(中央)。弊社装置にて得られたデバイス特性を元コダックのタン先生(現在、ロチェスター大学教授)に御説明されました。


バンケットにて

初日に開催されたバンケットにて九州大学安達教授グループに城戸教授も加わり記念撮影


2012年9月 有機デバイス研究用スパッタチャンバー付きマルチチャンバー蒸着装置

2012年9月に山形大学様に「スパッタチャンバー付きマルチチャンバー蒸着装置」を納入いたしました。

マルチチャンバー蒸着装置

出荷前の装置を弊社工場にて撮影


本装置は豊富な出荷実績を誇るE−200型有機デバイス研究装置にスパッタチャンバーを追加し、真空を破らないで一連の工程を可能とした素晴らしい装置です。
現在本装置は本年4月に開所された「山形大学有機エレクトロニクスイノベーションセンター」に移設されました。
移設時に本装置は更にグローブボックス(8グローブ2セット)が増設され全長はなんと14m長程になりました。


本装置により試作された照明デバイスが1月末に開催されましたナノテク展(ビッグサイト)山形大学様展示ブースにて展示されました。



有機照明デバイス

山形大学様展示ブース内の有機照明デバイスと説明パネル。


山形大学ブース

山形大学様ブース前にて杉田(弊社技術部長)


本ホームページ”カタログ”ページに弊社製品カタログを新規に追加いたしました。ぜひご覧ください(以前のページが表示される場合にはお手数ですが、ブラウザーで”再読み込み”を行うと新しいページが表示されます)
2011年8月4日 2011年秋季 第72回 応用物理学会学術講演会(会場:山形大学小白川キャンパス、期間: 2011年8月29日(月)〜9月2日(金))併設展示会に出展致しました。皆様にお越しいただき大変有難うございました
展示品
  • 計測チャンバー(太陽光シミュレーター用)
  • キャリヤボックス
  • 基板洗浄ホルダー

2011年秋季 第72回 応用物理学会学術講演会
2011年6月30日 ご好評頂いている有機デバイス研究装置のラインアップにE−80シリーズを加えました

E−80シリーズは、E−100、E−200シリーズの基本コンセプトを継承しておりますので、将来にわたり高度な研究目的に御使用いただけます

E-80全景

E−80標準外観写真(左奥はオプションのKOREA KIYON社製グローブボックス)
E−100との主な相違点

  • 基板サイズ:60ミリ角
  • 蒸発源:3源

E-80本体+グローブボックス

E−80とKOREA KIYON社製のグローブボックスとの接続例
アンテチャンバー室を簡易ロードロック室として使用しています


弊社E-100シリーズとの接続例

お客様が既に弊社製E−100をお持ちであれば上の写真のような接続が可能です
(蒸着室の配置は左から下記のようになります)
E−80 + E−100 + E−80 (+ オプション:グローブボックス)



詳細な仕様などのお問い合わせはお手数ですが、こちらのお問い合わせフォームもしくは弊社営業部までお願い致します。
(なお、カタログもご用意してございます)

KOREA KIYON社との技術交流会について

エイエルエステクノロジーではKIYON社製のグローブボックスのさらなる性能改善、品質向上を目指して技術交流会を定期的に行っています。技術交流会では、毎回活発な議論が行われています。
技術交流会の後はお互いの親睦を図るため懇親会も開いております。

技術交流会の様子

技術交流会の様子(韓国ソウルKOREA KIYON社にて)


詳しくはこちらを御覧ください

KOREA KIYON社が韓国外への輸出に貢献したことで、韓国首相より表彰を受けました
表彰状と表彰楯

韓国語の表彰状の意訳です。
「第47回貿易の日に、KOREA KIYON社は100万ドルの輸出に貢献したため、首相より貿易促進賞として表彰する」
KIYON社の輸出先の大部分を日本が占めており、弊社はKIYON社製グローブボックスの日本国内唯一の販売総代理店です。


表彰状とMr.Kim氏

表彰状とKIYON社技術営業部部長Mr.Kim氏

今後、さらにKOREA KIYON社との技術交流を深め、お客様にご満足頂けるグローブボックスを提供してまいります。
KOREA KIYON社製グローブボックスのご案内はこちらから。

2011年2月11日 新製品のご紹介
ALSテクノロジーではデバイス関係の御研究に御役に立てるように真空技術、精密機器設計技術を生かして「プローバー」の製品を販売しております。
商品名称「計測チャンバー」
  1. 目的

  2. 成膜処理等が終了した基板をグローブボックス内環境にて「計測チャンバー」にセットしN2ガス雰囲気中にて蓋をします。グローブボックス機構のミニアンテチャンバーを経由して外部に取り出します。太陽電池応用の場合には疑似太陽光照射計測などを基板をN2等の環境化に保持したままで測定可能になります。

  3. 特徴

    • 小型サイズ
    • グローブボックス機構のミニアンテチャンバーを経由して外部に取り出す為に最大外径φ94ミリx全長150ミリ(スタンドを含みます)とコンパクトに設計しています。
      (対応基板サイズ 25ミリ角程度まで)

    • ご利用状況に応じた工夫

    • グローブボックス内にて工具を使わないで基板取り付けや蓋カバーの固定が容易になるように工夫をしています。

    • 真空排気用の配管接続も可能(オプション)

    • グローブボックス内での真空排気の場合に必要になります配管部品、バルブ真空配管フィードスルーなども準備をしております。

    • 基板サイズの変更やピン数の変更など

    • 詳しくは弊社営業部門までお問い合わせください。
      (なお、カタログもご用意してございます)

    • 外観写真


    • 計測チャンバー外観

    • 基板取り付け部分


    • 計測チャンバー 基板取り付け部分

    • チャンバー下部


    • 計測チャンバー下部

2011年1月27日 新製品のご紹介
ALSテクノロジーではデバイス関係の御研究にお役に立てるように真空技術、精密機器設計技術を生かして「プローバー」の製品を販売しております。
  • グローブボックス内専用プローバー

  • グローブボックス内にて厚いグローブを使用しても操作がしやすいようにつまみを回しやすくしております。また観察CCDカメラを備えております。
    グローブボックス内専用プローバー

  • 真空プローバー デスクトップタイプ

  • プローバー デスクトップタイプ

  • 真空プローバー 床置きタイプ

  • プローバー 床置タイプ

    真空プローバーは加熱機構、冷却機構ユニットの搭載が可能です。
    また上に掲載の写真はクリックしていただきますと拡大します。
詳細な仕様等につきましてはお問い合わせください。
(なお、カタログもご用意してございます)

2011年1月26日 弊社の生産及び輸送体制についてのページを追加いたしました
出荷準備中の搬出車両
(エイエルエステクノロジーテクノセンタにて出荷準備をしている搬出車両)
弊社の生産及び輸送体制について詳細はこちらから
2011年1月4日 ALSテクノロジーでは好評頂いております「有機材料昇華精製装置」の高温仕様を追加いたしました。
型番 P−150H

項目仕様
石英管寸法外径φ65mmx長さ1000mm
最高加熱温度 昇華部分
       温度傾斜部分
700℃(炉部分の制御熱電対温度)
450℃(制御熱電対温度)
排気ポンプターボ分子ポンプ 300L/sec
補助ポンプ ドライポンプ
装置の外形寸法幅 1550mm x 奥行き 500mm x 高さ 約1000mm

P-150H

仕様の詳細につきましては弊社もしくは弊社代理店までお問い合わせをお願いいたします。
2011年1月4日 弊社組立フロアの一部をクリーンルーム化いたしました。
組立作業時にての真空室内のパーティクルの低減を目標として組立フロアの一部をクリーン化いたしました。また多くの蒸着装置においては真空室内部を電解研磨工程化することにより、より清浄度の高い装置を御提供してまいります。

クリーンルーム入口 クリーンルーム外観
2010年10月1日 Electronic Journal 別冊 2011 有機ELテクノロジー大全に弊社の有機EL関連製品が記載されております。ぜひ御覧ください。
◆第4編 有機EL用製造装置
第3章 ALSテクノロジーの有機EL用昇華精製装置
第4章 ALSテクノロジーの有機EL蒸着装置
【発 行】電子ジャーナル
【発行日】2010年10月1日
【頁 数】284頁(A4変形)
【体 裁】CD-ROM
【定 価】39,800円(送料・税込み)

詳細・ご購入はこちらから(株式会社電子ジャーナルのサイトです)
2010年3月7日 応用物理学会2010年春季大会展示会(会場:東海大学湘南キャンパス、期間: 2010年3月17日(水)〜20日(土))に出展いたしました。
展示出展物
●真空プローバー(新製品)●エリプソメーター付き高真空蒸着装置(新製品・パネル展示)●有機デバイス関連真空装置(パネル展示)

重要なお知らせ このたび弊社の業務拡大に伴い、本社(東京都三鷹市)を神奈川テクノセンターに移転・統合いたしました
この移転・統合により本社機能と従来の神奈川テクノセンターでの技術部門とが密接につながり、よりきめ細やかなサービスをお客様にご提供出来るものと考えております。
これからも株式会社エイエルエステクノロジーをなにとぞよろしくお願いいたします。
移転先の本社兼神奈川テクノセンターは、JR相模線番田駅より徒歩5分程度と交通アクセスが便利です。(アクセスのご案内はこちらから)
住所:〒252-0243 神奈川県相模原市中央区上溝2179-2
電話番号:042-713-3018(代表)
FAX番号:042-713-3019
2009年9月26日 これまで神奈川県相模原市緑区橋本にありました神奈川テクノセンターを神奈川県相模原市中央区上溝に移転いたしました。
これまでの当テクノセンターの機能に加え、より広い立地を利用し、さらなる技術力強化を図るとともに、商品展示も予定しております。
当テクノセンターは、JR相模線番田駅より徒歩5分程度と交通アクセスが便利です。(アクセスのご案内はこちらから)
移転先住所:〒252-0243 神奈川県相模原市中央区上溝2179-2
電話番号:042-713-3018(代表)
FAX番号:042-713-3019
2009年8月5日 KOREA KIYON製グローブボックスの資料を追加しました。
2009年4月1日 新製品「グローブボックス有機ガスモニタリングシステム」を発売しました
グローブボックス内にて有機溶剤を使用した場合に発生する内部の有機ガスの量をモニターするためのセンサーユニットを弊社独自技術で開発し発売開始いたしました。
カタログページ
2009年3月24日 展示会のページに最近の展示会の様子を追加しました。
2008年4月1日 このたび、ALSテクノロジーの販売力強化の為、関連会社として平成20年4月1日より株式会社サン・アールエスを設立いたしました。
(代表取締役社長・久保田力雄)
創業開始したばかりの未熟な会社ですが、弊社同様、ご愛顧のほどよろしく御願い申しあげます。
2008年3月18日 メディア掲載ページを追加いたしました
Topics KOREA KIYON社の案内を追加しました。ぜひご覧ください。
starKOREA KIYON社案内 pdf icon2.7MB
 KOREA KIYON社製ガス循環精製方式のグローブボックスを好評販売中
  同社の小回りを生かした技術対応で、日本のトップ研究者の細かいご要求に対応しております。
GloveBox
 今後、さらに弊社の持っている「真空技術」とKOREA KIYON社のグローブボックス技術を融合させて新しいニーズに対応していく予定です。

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  私どもは皆様に信頼いただける技術オリエンティッドな会社を目指します。
1点の真空装置用部品から高性能真空装置一式までお気軽にご相談ください。



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